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发明名称
PROBE HEAD HAVING A MEMBRANE SUSPENDED PROBE
摘要
申请公布号
EP1766426(B1)
申请公布日期
2013.09.11
申请号
EP20050764375
申请日期
2005.07.05
申请人
CASCADE MICROTECH, INC.
发明人
SMITH, KENNETH;JOLLEY, MICHAEL;VAN SYCKEL, VICTORIA
分类号
G01R1/073
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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