无线无源电容式加速度计

摘要

本发明公开了一种无线无源电容式加速度计，其包括内设封闭空腔的衬底，质量块通过悬臂梁固定在封闭空腔内；封闭空腔内位于质量块上方的位置设有第一电容、位于质量块下方的位置设有第二电容；衬底的底面上设有平面螺旋电感；衬底和质量块上都通过TSV工艺打孔溅射有电连线，电连线将第一电容、第二电容和平面螺旋电感串联成闭合回路。本发明传感器设计巧妙，结构简单，灵敏度高，测试结果准确，无线无源，可以在恶劣环境中使用，而且测量时采用非接触式测量，大大的扩宽了该传感器的适用范围。

主权项

一种无线无源电容式加速度计，其特征在于：包括衬底（1），衬底（1）中设有封闭空腔（2），封闭空腔（2）内设有质量块（3），质量块（3）的四周分别固接有悬臂梁（4），悬臂梁（4）的另一端固定在封闭空腔（2）的腔壁上，质量块（3）位于封闭空腔（2）的中心位置；封闭空腔（2）内位于质量块（3）上方的位置设有第一电容（5）、位于质量块（3）下方的位置设有第二电容（6）；第一电容（5）的第一下极板（5‑1）连接在质量块（3）的上表面、第一上极板（5‑2）连接在封闭空腔（2）腔顶上正对质量块（3）的位置处，第二电容（6）的第二上极板（6‑1）连接在质量块（3）的下表面、第二下极板（6‑2）连接在封闭空腔（2）腔底上正对质量块（3）的位置处；衬底（1）的底面上设有平面螺旋电感（7）；衬底（1）和质量块（3）上都通过TSV工艺打孔溅射有电连线（8），电连线（8）将第一电容（5）、第二电容（6）和平面螺旋电感（7）串联成闭合回路。