通过在扫描方向上具有扩展场的声光偏转器（AOD）来扫描二维刷的方法和装置

摘要

公开的技术涉及改进的声光偏转器（AOD）。特别地，它涉及对之前未被AOD设计者解决的微妙影响进行补偿。使用增强的功率均衡化策略来描述和解决重心偏移。

主权项

一种使用光学器件来形成交错飞点的致密刷的方法，所述交错飞点在投射到工件上的飞点之中具有最小的间隔距离，该距离使得相邻的相干束互不干涉，包括：在被投射到工件上时，以第一飞点之间的第一间隔来形成相干辐射的飞点的第一刷，该第一间隔和该最小间隔距离一样大或比它更大；在被投射到工件上时，以第二飞点之间的第二间隔来形成相干辐射的飞点的第二刷，该第二间隔和该最小间隔距离一样大或比它更大；其特征在于进一步使多个相干飞点的第一和第二刷交错，其中，在被投射到工件上时，所述第一刷中的各个飞点和第二刷中的各个飞点之间的距离小于该最小间隔距离，其中，所述第一飞点被调节为不与所述第二飞点干涉。