脉冲激光沉积法制备Al-N共掺杂P型ZnO薄膜

摘要

本发明公开了一种脉冲激光沉积法制备Al-N共掺杂P型ZnO薄膜，方法如下：1）靶材的选择：采用Al-Zn靶，其中Al含量为2.5wt.%~3.5wt.%；2）石英玻璃衬底的清洗；3）抽真空：将清洗后的石英玻璃片放入沉积室，将沉积室抽真空至3.0×10-4Pa~7.0×10-4Pa；4）向沉积室里充N2O气体（纯度为99.99%）：使N2O气体压强在3~7Pa；5）薄膜沉积：采用脉冲激光器在石英玻璃衬底温度为480~520℃，沉积48~52min。本发明制备的Al-N共掺杂P型ZnO薄膜具有高度的002晶面优先取向和良好的结晶质量，表现出优异的光学性能。

主权项

脉冲激光沉积法制备Al‑N共掺杂P型ZnO薄膜，其特征在于方法如下：1）靶材的选择：采用Al‑Zn靶，其中Al含量为2.5 wt.%~3.5 wt.%；2）石英玻璃衬底的清洗；3）抽真空：将清洗后的石英玻璃片放入沉积室，将沉积室抽真空至3.0×10‑4 Pa ~7.0×10‑4 Pa； 4）向沉积室里充纯度为99.99%的N2O气体：使N2O气体压强在3~7 Pa；5）薄膜沉积：采用脉冲激光器在石英玻璃衬底温度为480~520 ℃，沉积48~52 min。