发明名称 |
对柔性衬底的扩散阻挡层修饰 |
摘要 |
本发明公开了一种柔性CIGS薄膜太阳电池中,对柔性衬底添加阻挡层的修饰方法。不锈钢是柔性CIGS薄膜太阳电池衬底的首选材料。但是衬底中的元素如Fe、Cu元素的扩散,会降低电池的质量。因此,探寻合适的扩散阻挡层材料及其低成本制备工艺,对于提高器件效率和降低生产成本有重要意义。在不锈钢衬底上采用直流磁控溅射工艺沉积一层1-2μm的铬扩散阻挡层,能显著提高衬底上生长的背电极层及CIGS吸收层薄膜的结晶质量。 |
申请公布号 |
CN103290376A |
申请公布日期 |
2013.09.11 |
申请号 |
CN201210054338.6 |
申请日期 |
2012.03.05 |
申请人 |
任丘市永基光电太阳能有限公司 |
发明人 |
孙玉娣;张建柱;彭博;马格林 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种柔性CIGS薄膜太阳电池中,对柔性衬底添加铬阻挡层的修饰方法,是在柔性衬底上采用直流磁控溅射工艺沉积一层扩散阻挡层,其特征在于:所述柔性衬底为不锈钢衬底;所述阻挡层为铬层。 |
地址 |
062550 河北省任丘市永丰路办事处丰收路北 |