主权项 |
适用于抛光包含铜和/或银的基板的化学机械抛光(CMP)组合物,该组合物包含:(a)0.01至10重量%的粒状研磨剂;(b)0.001至1重量%的初级成膜金属络合剂,该络合剂包含式(I)A‑X‑Y‑OH的化合物、其盐、或者其部分中和形式,其中A为‑N(R1)‑C(=O)‑R2或‑C(=O)‑NH‑OH;而且X为‑C(R3)(R4)‑和Y为‑C(=O)‑,或者,X与Y一起形成芳基,在该芳基中,式(I)中的所述A和OH基团以彼此呈1,2或“邻位”关系定位;R1为H、经取代的C1‑C4烷基、或者未经取代的C1‑C4烷基;R2为经取代的C8‑C20烷基、或者未经取代的C8‑C20烷基;及R3与R4各自独立地为H、经取代的C1‑C4烷基、或者未经取代的C1‑C4烷基;(c)0.005至0.5重量%的次级成膜金属钝化剂,该钝化剂包含式(II)Z‑X2(Y2R5)(Y3R6)的化合物、其盐、或者其部分中和形式;其中Z为NH2或OH;X2为P=O或C;Y2及Y3各自独立地为N、NH或O;及R5与R6可各自独立地为R7‑(OCH2CH2)n‑,或当Y2及Y3各自独立地为N或NH时,则R5与R6可各自独立地为N、NH或CH,且与Y2和Y3一起形成具有X2、Y2及Y3的五元杂环;各R7独立地为H、C1‑C20烷基、苯基、或者经C1‑C20烷基取代的苯基;且“n”具有2‑1000的平均值;及(d)为此的水性载体。 |