一种多晶硅纯度优化设备

摘要

一种多晶硅纯度优化设备，包括加热炉体、坩埚、加热板、冷却装置、铸型升降装置，所述加热炉体为一罩壳结构，该加热炉体顶部设置有顶盖，该加热炉体一侧连接有真空泵，另一侧连接有阀体；所述坩埚设置在所述加热炉体内，所述冷却装置设置在该坩埚底部，设置在加热炉体底部的隔热板与所述冷却装置、加热炉体共同构成封闭腔体；所述坩埚外壁上设置加热板；所述冷却装置设置有热开关，该热开关与所述坩埚的底部连接，该冷却装置的底部分别设置有冷却水进口和冷却水出口；冷却装置周边设置有保温壁，该保温壁与所述隔热板连接；所述铸型升降装置设置在冷却装置的下部。该设备成本低、技术成熟度高、环境污染小。

主权项

一种多晶硅纯度优化设备，包括加热炉体、坩埚、加热板、冷却装置、铸型升降装置，其特征在于：所述加热炉体为一罩壳结构，该加热炉体顶部设置有顶盖，该加热炉体一侧连接有真空泵，另一侧连接有阀体；所述坩埚设置在所述加热炉体内，所述冷却装置设置在该坩埚底部，设置在加热炉体底部的隔热板与所述冷却装置、加热炉体共同构成封闭腔体；所述坩埚外壁上设置加热板；所述冷却装置设置有热开关，该热开关与所述坩埚的底部连接，该冷却装置的底部分别设置有冷却水进口和冷却水出口；冷却装置周边设置有保温壁，该保温壁与所述隔热板连接；所述铸型升降装置设置在冷却装置的下部。