喷嘴清洗装置以及涂布装置

摘要

一种喷嘴清洗装置以及涂布装置。喷嘴清洗装置(31)的各液滴喷出部(40a、40b)具备：第1板状构件(41)及第2板状构件(42)，彼此相向地配置，从而形成狭缝状的空气喷出口；以及第3板状构件(43)，与第2板状构件(42)相向地配置，从而形成狭缝状的清洗液喷出口。将从第1板状构件(41)与第2板状构件(42)之间所形成的空气喷出口喷出的压缩空气、与从第2板状构件(42)与第3板状构件(43)之间所形成的清洗液喷出口喷出的清洗液彼此混合，从而形成清洗液的液滴。该液滴被喷出至狭缝喷嘴(13)中的倾斜面(13b)。在第3板状构件(43)的下方侧，形成有朝大气开放的空间区域(E)。本实用新型能够将狭缝喷嘴清洗干净。

主权项

一种喷嘴清洗装置，用于清洗狭缝喷嘴，所述狭缝喷嘴具有狭缝状的涂布液喷出口及靠近所述涂布液喷出口的倾斜面，且对基板涂布涂布液，其特征在于，所述喷嘴清洗装置包括：第1及第2板状构件，彼此相向地配置，从而形成狭缝状的气体喷出口；以及第3板状构件，与所述第2板状构件相向地配置，从而形成狭缝状的清洗液喷出口，将从所述第1板状构件与所述第2板状构件之间所形成的气体喷出口喷出的气体、和从所述第2板状构件与所述第3板状构件之间所形成的清洗液喷出口喷出的清洗液混合而生成的液滴喷出至所述狭缝喷嘴中的倾斜面，并且在所述第3板状构件中的与所述第2板状构件相反的一侧，形成有朝大气开放的空间区域。