真空镀膜设备的真空度量测装置

摘要

本实用新型有关于一种真空镀膜设备的真空度量测装置，包含有一真空计及一开关阀，开关阀安装于真空镀膜设备的一真空腔体且与真空计连接在一起，当开关阀开启时，真空腔体与真空计之间相互连通，使真空计能藉由量测气体的物理性质而换算出真空腔体内的真空度，当开关阀关闭时，真空腔体内与真空计之间互不相通，使真空计能够减少接触到化学腐蚀气体的机会，以达到延长维修周期及使用寿命的目的，同时便于维修操作。

主权项

一种真空镀膜设备的真空度量测装置，其特征在于，该真空镀膜设备具有一真空腔体，该真空腔体具有一贯穿内、外壁面的安装孔，该真空度量测装置包含有：至少一真空计；以及至少一开关阀，安装于该真空腔体的安装孔且位于该真空腔体的外壁面，该开关阀连接该真空计且具有一通道，当该开关阀开启时，该真空腔体与该真空计之间经由该通道相互连通，当该开关阀关闭时，该真空腔体与该真空计之间互不相通。