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发明名称
摘要
申请公布号	JP5284642(B2)	申请公布日期	2013.09.11
申请号	JP20070532428	申请日期	2005.09.12
申请人		发明人
分类号	H01J49/42;G01N27/62;H01J49/10	主分类号	H01J49/42
代理机构		代理人
主权项
地址

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