发明名称 |
RUTHENIUM-CONTAINING PRECURSORS FOR CVD AND ALD |
摘要 |
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申请公布号 |
EP2561115(A4) |
申请公布日期 |
2013.09.11 |
申请号 |
EP20110771667 |
申请日期 |
2011.04.12 |
申请人 |
L'AIR LIQUIDE SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE |
发明人 |
GATINEAU, SATOKO |
分类号 |
C23C16/40;C23C16/16;C23C16/18;C23C16/30;H01L21/285 |
主分类号 |
C23C16/40 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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