物镜波像差检测系统

摘要

本发明提供的物镜波像差检测系统包括激光光源、双物镜波面干涉单元、CCD及与所述CCD电性连接的控制计算机。双物镜波面干涉单元包括第一分束棱镜、第一反射镜、参考物镜、玻片、待测物镜、第二分束棱镜及第二反射镜。另外，本发明还提供了一种物镜波像差检测的方法。本发明提供的物镜波像差检测系统和检测方法通过采用双物镜匹配方式得到参考物镜和待测物镜组合后的波像差，实现对大数值孔径显微物镜波像差的定量检测，解决了目前对大数值孔径物镜性能无法定量检测的难题。

主权项

一种物镜波像差检测系统，其特征在于，包括激光光源、双物镜波面干涉单元、CCD及与所述CCD电性连接的控制计算机；所述双物镜波面干涉单元包括第一分束棱镜、第一反射镜、参考物镜、玻片、待测物镜、第二分束棱镜及第二反射镜；所述激光光源出射的准直激光光束进入所述第一分束棱镜；所述准直激光光束中部分光束经所述第一分束棱镜反射后形成测量光束，所述测量光束经所述第一反射镜反射进入所述参考物镜，再经所述参考物镜聚焦于所述玻片中，从所述玻片中出射的所述测量光束被所述待测物镜收集、准直后再进入所述第二分束棱镜并被反射进入所述CCD中；所述准直激光光束中另一部分光束经所述第一分束棱镜透射后形成参考光束，所述参考光束经所述第二反射镜反射后再透射所述第二分束棱镜进入所述CCD中；所述测量光束和所述参考光束在所述CCD的感光面处产生干涉条纹；所述CCD记录所述干涉条纹，所述控制计算机对所述CCD记录的干涉条纹进行计算分析，并将所述干涉条纹转换为波像差，其中，所述波像差为所述参考物镜和待测物镜组合后的波像差。