发明名称 一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器
摘要 本发明公开了一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器,其包括:入射波导,其为直波导,用于接收入射光和输出出射光;弯曲波导,其与入射波导近距离设置,使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导,且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入射波导并输出;马赫曾德尔干涉仪结构,其输入端与弯曲波导的输入端相连,其输出端与弯曲波导的输出端相连,以形成微环谐振腔,且其用于增加微环谐振腔的光损耗。行波电极,其用于向所述马赫曾德尔干涉仪结构加载电压,以使得马赫曾德尔干涉仪结构对输入其的光进行强度调制。本发明通过在微环非耦合区加入了MZI结构,利用微环临界耦合和非临界耦合状态的转换完成对入射光的调制。
申请公布号 CN103293715A 申请公布日期 2013.09.11
申请号 CN201310268418.6 申请日期 2013.06.28
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 费永浩;陈少武
分类号 G02F1/01(2006.01)I 主分类号 G02F1/01(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 宋焰琴
主权项 一种基于微环‑马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器,其包括:入射波导,其为直波导,用于接收入射光和输出出射光;弯曲波导,其与入射波导近距离设置,使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导,且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入射波导并输出;马赫曾德尔干涉仪结构,其输入端与弯曲波导的输入端相连,其输出端与弯曲波导的输出端相连,以形成微环谐振腔,且其用于增加微环谐振腔的光损耗。行波电极,其用于向所述马赫曾德尔干涉仪结构加载电压,以使得马赫曾德尔干涉仪结构对输入其的光进行强度调制。
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