发明名称 | 一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器 | ||
摘要 | 本发明公开了一种基于微环-马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器,其包括:入射波导,其为直波导,用于接收入射光和输出出射光;弯曲波导,其与入射波导近距离设置,使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导,且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入射波导并输出;马赫曾德尔干涉仪结构,其输入端与弯曲波导的输入端相连,其输出端与弯曲波导的输出端相连,以形成微环谐振腔,且其用于增加微环谐振腔的光损耗。行波电极,其用于向所述马赫曾德尔干涉仪结构加载电压,以使得马赫曾德尔干涉仪结构对输入其的光进行强度调制。本发明通过在微环非耦合区加入了MZI结构,利用微环临界耦合和非临界耦合状态的转换完成对入射光的调制。 | ||
申请公布号 | CN103293715A | 申请公布日期 | 2013.09.11 |
申请号 | CN201310268418.6 | 申请日期 | 2013.06.28 |
申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 费永浩;陈少武 |
分类号 | G02F1/01(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/01(2006.01)I |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
主权项 | 一种基于微环‑马赫曾德尔干涉仪结构的电光调制器,其包括:入射波导,其为直波导,用于接收入射光和输出出射光;弯曲波导,其与入射波导近距离设置,使得经过入射波导内的入射光部分耦合进该弯曲波导,且经过该弯曲波导的出射光部分耦合进所述入射波导并输出;马赫曾德尔干涉仪结构,其输入端与弯曲波导的输入端相连,其输出端与弯曲波导的输出端相连,以形成微环谐振腔,且其用于增加微环谐振腔的光损耗。行波电极,其用于向所述马赫曾德尔干涉仪结构加载电压,以使得马赫曾德尔干涉仪结构对输入其的光进行强度调制。 | ||
地址 | 100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |