接触垫、平板图像探测器及其制作方法

摘要

一种接触垫、平板图像探测器及其制作方法，所述接触垫括：设置在衬底上方的底层导电结构；设置在衬底及底层导电结构上方的绝缘层，绝缘层中设置有暴露部分底层导电结构上表面的顶部过孔；设置在绝缘层上方且覆盖在顶部过孔底部及侧壁上的中间导电层；设置在中间导电层上方、并与中间导电层接触的表层导电层。通过在接触垫中增设中间导电层，解决了接触垫中异方性导电膜的有效压合位置到顶部过孔底部之间的导电层具有较大电阻，及接触垫中表层导电层容易断裂导致接触垫失效概率大的问题。

主权项

一种接触垫，其特征在于，所述接触垫设置在衬底上方，所述接触垫包括：设置在所述衬底上方的底层导电结构，所述底层导电结构至少包括一个导电层；设置在所述衬底及底层导电结构上方的绝缘层，所述绝缘层中设置有暴露部分所述底层导电结构上表面的顶部过孔；设置在所述绝缘层上方且覆盖在所述顶部过孔底部及侧壁上的中间导电层；设置在所述中间导电层上方、并与所述中间导电层接触的表层导电层。