Verfahren zur Herstellung optimierter Solarzellen

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Solarzellenwafers mit einem p-n-Übergang und einer Emitterschicht, vorgestellt, bei dem die Emitterschicht nach dem abschließenden Ätz- und Reinigungsschritt und vor dem Aufbringen weiterer Schichten in sauerstoffhaltiger Atmosphäre mit einer monochromen UV-Strahlung von 172 nm (+–14 nm) bestrahlt wird. Es wird eine geeignete Lichtquelle zur Erzeugung der monochromatischen UV-Strahlung genannt. Die erfindungsgemäße Behandlung des Substrats bewirkt ein verbessertes Aufwachsen von Folgeschichten auf der bestrahlten Fläche der Solarzelle.