| 摘要 |
Teilungseinrichtung (1) für ein rechteckförmiges Substrat zum Teilen eines rechteckförmigen Substrats (5), an dessen Rückseite ein Schutzband oder -streifen befestigt ist und an dem geplante Teilungs- oder Teilungslinien (50) für die Teilung des rechteckförmigen Substrats (5) in individuelle oder einzelne Vorrichtungen oder Bauelemente gebildet sind, entlang der geplanten Teilungslinien (50), um das rechteckförmige Substrat (5) in die einzelnen Vorrichtungen zu teilen, und zum Unterbringen der einzelnen Vorrichtungen in einem Vorrichtungsgehäuse, wobei die Teilungseinrichtung (1) für das rechteckförmige Substrat (5) wenigstens aufweist: eine auf Schneiden ansprechbare Region (2), die aus einem Kassettentisch (20) zum Tragen einer Kassette, welche eine Mehr- oder Vielzahl der rechteckförmigen Substrate (5) unterbringt, einem Heraustragmittel oder -einrichtung (21) zum Tragen des rechteckförmigen Substrats (5) aus der Kassette heraus, einem Futter- oder Einspanntisch (22) zum Halten des herausgetragenen, rechteckförmigen Substrats (5), einem Schneidmittel oder -einrichtung (23) zum Schneiden des an dem Einspanntisch (22) gehaltenen, rechteckförmigen Substrats (5) entlang der geplanten Teilungslinien (50), um das rechteckförmige Substrat (5) in die einzelnen Vorrichtungen zu teilen, und einem Reinigungsmittel oder -einrichtung (24) zum Reinigen des geschnittenen, rechteckförmigen Substrats (5) besteht; eine auf Bandablösung ansprechbare Region (3), die aus einem temporären oder zeitweiligen Platzierungstisch (30) zum zeitweiligen Tragen des geschnittenen und gereinigten, rechteckförmigen Substrats (5), einem Aufnahmetisch (31) zum Tragen der Vorrichtungen, wenn die einzelnen, das rechteckförmige Substrat (5) bildenden Vorrichtungen aufgenommen sind, und einem Vorrichtungstransfer- oder -übertragungsmittel oder -einrichtung (32) mit einer Funktion zum Transferieren oder Übertragen der Vorrichtungen von dem zeitweiligen Platzierungstisch (30) zu dem Aufnahmetisch (31) während des Ablösens des an der Rückseite des rechteckförmigen Substrats (5) befestigten Schutzbandes besteht; und eine auf die Vorrichtungsunterbringung ansprechbare Region (4), welche wenigstens ein Aufnahmemittel oder -einrichtung (40) zum Aufnehmen der zu dem ... |
