具有精确间距的电互连的半导体管芯

摘要

一种管芯具有位于互连边缘附近的互连面上的互连焊盘和具有被保形介质涂层覆盖的至少部分互连面，其中，介质涂层上的互连迹线与介质涂层的表面形成高界面角。因为迹线具有高界面角，减轻互连材料横向“渗出”的趋势且避免相邻迹线的接触或重叠。互连迹线包括可固化的导电互连材料，即包括可以以可流动方式施加的材料，然后被固化或被允许固化以形成导电迹线。而且，一种方法包括：在形成迹线之前，对保形介质涂层的表面进行CF4等离子体处理。

主权项

一种包括半导体管芯的组件，所述半导体管芯具有位于互连边缘附近的互连面处的互连焊盘和具有被保形介质涂层覆盖的至少部分所述互连面，其中，所述介质涂层上的互连迹线与所述介质涂层的表面形成高界面角。