具有背面浮动结的太阳能电池结构及其制作方法

摘要

本发明涉及一种具有背面浮动结的太阳能电池结构及其制作方法，该电池结构，在P型硅基体基体背面依次有p+硅铝合金层、n+磷轻掺杂层、SiO2薄膜层、SiNx薄膜层以及金属浆料层，金属浆料层与p+硅铝合金层形成欧姆接触或整流接触，p+硅铝合金层与n+磷轻掺杂层之间由SiO2薄膜层和SiNx薄膜层构成的叠层膜阻隔。制作方法为：硅片前处理；背面镀SiOx薄膜，通过控制掩膜的厚度，一次扩散工艺同时在前表面形成适合于丝网印刷的低方阻掺杂层，以形成PN结，在背表面形成适合于浮动结的高方阻掺杂层，以形成背面场。本发明的有益效果是：实现了一种可产业化的简便的制备背浮动结的方法，利用背面SiOx薄膜同时形成正反两面不同浓度掺杂层，优化了加工工艺，简化制备流程。

主权项

一种具有背面浮动结的太阳能电池的制作方法，其特征是：a)硅片清洗，去除损伤层，表面制绒；b)背面镀SiOx薄膜，通过控制该膜的厚度，后续扩散步骤时在前表面形成适合于丝网印刷的低方阻掺杂层，以形成PN结，同时在背表面形成适合于浮动结的高方阻掺杂层，以形成背面场；c)同时对硅电池片基体正反面进行磷扩散；d)背面定域开孔，可采用腐蚀性浆料或者激光开孔，去除局部的SiOx薄膜和n+浅扩层；e)酸清洗去除PSG及背面SiOx层；f)热氧生长双面SiO2层；g)双面镀SiNx薄膜；h)在步骤d所开大孔内的中心区域，继续开一小孔；i)正面印刷金属栅线；j)烘干；k)背面印刷铝浆；l)烧结。