一种多悬臂梁结构微波功率传感器

摘要

本发明公开了一种多悬臂梁结构微波功率传感器，包括衬底、设置在衬底上的微带线、悬臂梁锚区和多个压焊块，悬臂梁锚区和压焊块分别设置在微带线的两侧，微带线的上方设置有多条相互平行、悬空的悬臂梁，多条悬臂梁与微带线相垂直且长度不等，悬臂梁的一端设置在悬臂梁锚区上，另一端对应悬空在一个压焊快的上方。本发明利用微带线上传输的微波功率对不同长度悬臂梁的吸引导致梁的位移，通过检测平行放置的不同长度的悬臂梁与压焊快接触数目实现微带线上传输微波功率的测量，不仅可以提高功率传感器的灵敏度和简化结构，而且实现了数字化输出，控制了误差范围。

主权项

一种多悬臂梁结构微波功率传感器，其特征在于，该传感器包括GaAs或Si材质的衬底（1）、设置在所述衬底（1）上的微带线（2）、悬臂梁锚区（21）和多个压焊快（4），所述悬臂梁锚区（21）和压焊快（4）分别设置在微带线（2）的两侧，微带线（2）的上方设置有多条相互平行、悬空的悬臂梁（3），多条悬臂梁（3）与微带线（2）相垂直且长度不等，悬臂梁（3）的一端设置在悬臂梁锚区（21）上，另一端对应悬空在一个压焊快（4）的上方。