表面发射激光器、其制造方法和图像形成装置

摘要

本发明涉及一种表面发射激光器、其制造方法以及图像形成装置。表面发射激光器包括层叠于基板上的下部多层反射镜、活性层和上部多层反射镜。通过使用第一沟槽结构在活性层上面或下面形成具有第一导电区域和第一绝缘区域的第一电流限制层。通过使用第二沟槽结构在第一电流限制层上面或下面形成具有第二导电区域和第二绝缘区域的第二电流限制层。第一和第二沟槽结构从上部多层反射镜的顶面向基板延伸，使得第二沟槽结构包围第一沟槽结构。当沿基板的面内方向观察表面发射激光器时，第一导电区域和第一绝缘区域之间的边界被设置在第二导电区域内侧。

主权项

一种表面发射激光器，包括：基板；下部多层反射镜；活性层；上部多层反射镜；下部多层反射镜、所述活性层和上部多层反射镜被依次设置在基板上，第一电流限制层，所述第一电流限制层包含第一导电区域和第一绝缘区域，并被设置在构成上部多层反射镜的层之间或者被设置在上部多层反射镜和所述活性层之间；第二电流限制层，所述第二电流限制层包含第二导电区域和第二绝缘区域，并被设置在比第一电流限制层接近所述活性层的位置；用于形成第一绝缘区域的第一沟槽结构，该第一沟槽结构从上部多层反射镜的顶部向基板延伸；和用于形成第二绝缘区域的第二沟槽结构，该第二沟槽结构从上部多层反射镜的顶部向基板延伸以包围第一沟槽结构、并具有位置比第一沟槽结构的底部深的底部，其中，第一导电区域和第一绝缘区域之间的边界沿基板的面内方向被设置在第二导电区域内侧，其中，第一沟槽结构被分成多个部分，其中，第一电流限制层仅包含第一导电区域作为导电区域。