发明名称 |
透明导电膜湿法蚀刻液组合物 |
摘要 |
本发明提供一种透明导电膜湿法蚀刻液组合物。该透明导电膜湿法蚀刻液组合物包含(1)0.5-10wt%的草酸;(2)0.1-50wt%的乙酸;(3)0.01-10wt%的铵盐;(4)0.001-10wt%的表面活性剂;(5)余量水。该蚀刻液组合物蚀刻速率均匀稳定,无残留,不腐蚀配线。 |
申请公布号 |
CN102226087B |
申请公布日期 |
2013.09.04 |
申请号 |
CN201110109547.1 |
申请日期 |
2011.04.29 |
申请人 |
西安东旺精细化学有限公司 |
发明人 |
张军;常积东;李承孝 |
分类号 |
C09K13/00(2006.01)I |
主分类号 |
C09K13/00(2006.01)I |
代理机构 |
西安智邦专利商标代理有限公司 61211 |
代理人 |
徐平 |
主权项 |
一种透明导电膜湿法蚀刻液组合物,其特征在于:该蚀刻液组合物为草酸和乙酸的水溶液,其中草酸含量为0.5‑10wt%;乙酸含量为0.1‑50wt%,所述酸的含量均是指其有效成分占蚀刻液组合物的质量分数;该蚀刻液组合物还含有0.01‑10wt%铵盐,所述的铵盐选自硫酸铵、硫酸氢铵、硝酸铵、碳酸铵、碳酸氢铵、氯化铵、溴化铵、甲酸铵、乙酸铵、丙酸铵、草酸铵、苯甲酸铵中的一种或两种。 |
地址 |
710075 陕西省西安市高新区高新路枫叶广场A座1205室 |