| 发明名称 | 一种热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种热处理装置。所述热处理装置(100)包括导热板(1)、至少两个冷热源(2，3，4)，所述导热板(1)用于作为导热介质连接在所述至少两个冷热源(2，3，4)与待处理产品之间以对待处理产品进行加热或冷却，所述热处理装置还包括用于选择性地将所述导热板(1)切换成与所述至少两个冷热源(2，3，4)中的一个冷热源(2，3，4)热接触的切换机构(200)。本发明的热处理装置包括至少两个冷热源，在需要改变制程温度时，可以通过切换机构改变与导热板接触的冷热源，由此快速改变制程温度。 | ||
| 申请公布号 | CN103280416A | 申请公布日期 | 2013.09.04 |
| 申请号 | CN201310212971.8 | 申请日期 | 2013.05.31 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 发明人 | 区炜锋 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;G03F7/38(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人 | 刘敏 |
| 主权项 | 一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置(100)包括导热板(1)、至少两个冷热源(2，3，4)，所述导热板(1)用于作为导热介质连接在所述至少两个冷热源(2，3，4)与待处理产品之间以对待处理产品进行加热或冷却，所述热处理装置还包括用于选择性地将所述导热板(1)切换成与所述至少两个冷热源(2，3，4)中的一个冷热源(2，3，4)热接触的切换机构(200)。 | ||
| 地址 | 518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 | ||