波片相位延迟光谱特性的测量装置

摘要

本实用新型公开了一种波片相位延迟光谱特性的测量装置，包括一个宽带光源，其出射的连续光依次通过准直器、起偏器、两个待测波片、检偏器和分光器后，经多波长光电探测器接收；两个待测波片都与电机连接，多波长光电探测器接收的数据上传到数据采集卡中，数据采集卡将数据传输给计算机，计算机连接电机。本实用新型的测量方法能够在宽光谱范围内同时自动测量两个未知波片的相位延迟光谱特性，既可用于测量旋转双补偿器式广谱椭偏仪中两个旋转波片的相位延迟光谱特性，消除其定标不准确带来的系统误差；又可用于实际生产及研究工作中同时进行两个未知波片的相位延迟量光谱特性的直接定标，并且测量结果不受光源和探测器光谱特性的影响。

主权项

一种波片相位延迟光谱特性的测量装置，其特征是，包括一个宽带光源，其出射的多波长连续光依次通过准直器、起偏器、第一待测波片、第二待测波片、检偏器和分光器后，经多波长光电探测器接收，接收后将数据传输给数据采集卡，数据采集卡的数据传输给计算机，所述第一待测波片和第二待测波片安装在手动控制的精密转台上。