发明名称 |
掩模组件及用于使用该掩模组件的平板显示器的沉积设备 |
摘要 |
本发明公开了掩模组件及用于使用该掩模组件的平板显示器的沉积设备。所述掩模组件包括:掩模框架,具有开口和围绕开口的框架;掩模框架上的图案掩模,包括具有至少一个与开口重叠的图案的图案部分和附着到所述框架的焊接部分;至少一个支撑棒,跨过开口并附着到图案掩模。 |
申请公布号 |
CN101798670B |
申请公布日期 |
2013.09.04 |
申请号 |
CN201010113665.5 |
申请日期 |
2010.02.05 |
申请人 |
三星显示有限公司 |
发明人 |
成栋永;张大植 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 |
代理人 |
韩明星;薛义丹 |
主权项 |
一种掩模组件,所述掩模组件包括:掩模框架,所述掩模框架具有金属材料,并且具有开口和围绕开口的框架;多个图案掩模,位于所述掩模框架上,每个图案掩模包括具有多于一个的与开口重叠的图案的图案部分和附着到所述框架的焊接部分,所述焊接部分沿第一方向延伸,第一方向与所述图案掩模的纵边平行;至少一个支撑棒,跨过开口并附着到图案掩模,所述支撑棒沿第二方向延伸以跨过开口,第二方向与所述第一方向垂直,其中,在支撑棒和图案掩模之间的焊点设置在图案之间,其中,仅支撑棒的端部附着到掩模框架,以及其中,支撑棒包含与掩模框架的材料相同的材料。 |
地址 |
韩国京畿道龙仁市 |