光加工装置

摘要

本发明提供一种光加工装置，该光加工装置（10）将光束（LB）照射于工件（W）的加工面，对该加工面进行，具有：输出源（32），其输出所述光束（LB）；光束移动单元（12），其使从所述输出源（32）输出的所述光束（LB）移动；以及多个反射镜（14），其配置在所述光束移动单元（12）与所述加工面之间的所述光束（LB）的光路中，反射所述光束移动单元（12）移动的所述光束（LB），并引导至所述加工面；所述多个反射镜（14）被设定有与所述光束（LB）的入射方向相应的倾斜角度，以将由所述光束移动单元（12）移动的所述光束（LB）大致垂直地引导至所述加工面的不同的位置。

主权项

一种光加工装置，其对工件的加工面照射光束，而对该加工面进行加工，其特征在于，包括：输出源，其输出所述光束；光束移动单元，其使由所述输出源输出的所述光束移动；和多个反射镜，其设置于所述光束移动单元和所述加工面之间的所述光束的光路中，反射由所述光束移动单元移动的所述光束，并引导至所述加工面，所述多个反射镜被设定有与所述光束的入射方向相应的倾斜角度，以将由所述光束移动单元移动的所述光束大致垂直地引导至所述加工面的不同位置。