表面保护膜及使用该膜的表面保护材料

摘要

本发明的表面保护膜由电离辐射固化型树脂组合物、异氰酸酯预聚物、及脱模剂形成，脱模剂优选聚硅氧烷含量为50重量％以上90重量％以下、数均分子量为5000～20000、丙烯酸酯官能团数为3或3以上的聚硅氧烷丙烯酸酯。该表面保护膜不受清洗溶剂清洗的侵害，而且不受光致抗蚀剂中所含的多元醇或其衍生物等构成的溶剂的侵害，对光致抗蚀剂具有极高的脱模性。

主权项

一种具有脱模性的表面保护膜，其特征在于，由表面保护膜用涂布液形成，所述表面保护膜用涂布液至少同时含有电离辐射固化型树脂组合物及异氰酸酯预聚物，所述电离辐射固化型树脂组合物使用光聚合性预聚物，所述光聚合性预聚物为1分子中含有两个以上的丙烯酰基、通过交联固化形成三维网状结构的丙烯酸类预聚物。