一种高精度压力变送器的温度补偿方法

摘要

本发明属于压力传感技术，涉及一种高精度压力变送器的温度补偿方法。本发明不必使用热敏电阻和二极管等常用温度补偿器件，仅通过四组精密固定电阻器实现压力变送器的温度补偿，减小了压力变送器的误差；同时利用差动放大电路中的运算放大器设计了两个独立对称的二阶低通KRC有源滤波器，滤除来自压力敏感元器件的差模干扰信号，保证了压力变送器差动输出电压信号的稳定性。利用该电路设计和温度补偿方法制造成压力变送器，适应温度范围为（-55～175）℃，且在全温度范围内的输出误差小于±0.5%FS。而且具有体积小、重量轻、抗干扰能力强，输出稳定，工艺过程简便的优点，适宜于较大批量的生产。

主权项

一种高精度压力变送器的温度补偿方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤1：SOI压力敏感器件标定在‑55℃～175℃温度范围内，选取若干温度点n，标定SOI压力敏感器件的桥压、电桥内阻和输出值；步骤2：计算中间参数根据步骤1压力敏感器件标定的数据，用最小二乘法求出热灵敏度系数α、桥压温度系数TCR；步骤3:求补偿电阻Rp1、Rp2的初始值步骤4:初始温度TO调试;一般取T0=25°C，预置Rp1、Rp2的阻值，调整Rp3、Rp4使压力变送器输出电压满足技术指标要求；步骤5：补偿温度T调试；保持Rp3、Rp4不变，调整Rp1、Rp2使压力变送器输出电压满足技术指标要求；步骤6:把可调电阻Rp1～Rp4，换成等阻值的精密金属膜固定电阻;步骤7：验证其它温度条件下压力变送器的输出误差。