多晶硅块切断机用的气缸平衡式切割头

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅块切断机用的气缸平衡式切割头，用于切割去除多晶硅锭的头尾废弃层。包括立柱和支架，与立柱相配有切割头，在立柱和切割头左端之间安装有竖直的导轨滑块副并设有丝杠丝母驱动机构，丝杠丝母驱动机构接伺服电机，切割头的左端接有左支撑架，右端接有右支撑架，在左支撑架和右支撑架之间安装有切割轮，在支架和右支撑架之间连接有平衡气缸，所述的左支撑架、右支撑架、切割轮、平衡气缸均为两组且对称设置，切割轮与旋转驱动机构相接。结构简单，动作灵活可靠，切割精度高，加工表面质量好，切口小，减少材料浪费，切割效率高，切割面平行度可控制在1mm之内。

主权项

一种多晶硅块切断机用的气缸平衡式切割头，其特征在于：包括立柱（1）和支架（12），与立柱（1）相配有切割头（3），在立柱（1）和切割头（3）左端之间安装有竖直的导轨滑块副并设有丝杠丝母驱动机构，丝杠丝母驱动机构接伺服电机，切割头（3）的左端接有左支撑架（2），右端接有右支撑架（10），在左支撑架（2）和右支撑架（10）之间安装有切割轮（11），在支架（12）和右支撑架（10）之间连接有平衡气缸（5），所述的左支撑架（2）、右支撑架（10）、切割轮（11）、平衡气缸（5）均为两组且对称设置，切割轮（11）与旋转驱动机构相接。