研磨衬垫检测装置

摘要

本实用新型公开了一种研磨衬垫检测装置，包括检测单元以及用于支撑研磨衬垫的支撑机构，所述检测单元设置于所述支撑机构的上方，所述检测单元包括电源模块、光源模块、透镜组模块、光信号采集模块、调整模块以及观察窗口，所述电源模块和所述光源模块连接，所述调整模块分别和所述光源模块、所述透镜组模块以及所述光信号采集模块连接；所述光源模块发出的光信号通过透镜组模块入射至所述研磨衬垫上，所述光信号采集模块收集被研磨衬垫反射的光信号并放大成像于所述观察窗口，从而可以方便、快捷地实现对研磨衬垫的检测，确保质量合格的研磨衬垫用于后续的研磨工艺中，保证研磨质量，提高产品良率。

主权项

一种研磨衬垫检测装置，其特征在于，包括检测单元以及用于支撑研磨衬垫的支撑机构，所述检测单元设置于所述支撑机构的上方，所述检测单元包括电源模块、光源模块、透镜组模块、光信号采集模块、调整模块以及观察窗口，所述电源模块和所述光源模块连接，所述调整模块分别和所述光源模块、所述透镜组模块以及所述光信号采集模块连接；所述光源模块发出的光信号通过透镜组模块入射至所述研磨衬垫上，所述光信号采集模块收集被研磨衬垫反射的光信号并放大成像于所述观察窗口。