可磁驱动的微镜

摘要

本发明涉及一种可磁驱动的微镜，其具有设置在第一平面中的外框架（205）、线圈体（202）和扭转弹簧（203），其中所述扭转弹簧（203）具有旋转轴线，其中所述线圈体（202）借助所述扭转弹簧（203）可围绕所述旋转轴线旋转运动地与所述外框架（205）连接，所述可磁驱动的微镜具有镜元件（305），其设置在与第一平面平行的第二平面中，其中所述镜元件（305）借助中间层（250）与所述线圈体（202）连接。本发明还涉及一种具有第一可磁驱动的微镜和第二可驱动的镜的二维扫描仪和一种用于制造微镜的方法。

主权项

一种可磁驱动的微镜，所述微镜具有设置在第一平面（200）中的外框架（205）、线圈体（202）和扭转弹簧（203），其中，所述扭转弹簧（203）具有旋转轴线，其中，所述线圈体（202）借助所述扭转弹簧（203）能够围绕所述旋转轴线旋转运动地与所述外框架（205）连接，所述微镜具有设置在与所述第一平面平行的第二平面中的镜元件（305），其中，所述镜元件（305）借助中间层（250）与所述线圈体（202）连接。