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不锈钢基体表面氮掺杂二氧化钛多孔薄膜的制备方法，其特征在于是一种首先利用双层辉光离子渗金属技术进行反应溅射，制备由基体中钛氮扩散层和表面Ti‑N化合物薄膜构成的Ti‑N渗镀层，再将Ti‑N薄膜进行阳极氧化制备N掺杂TiO2多孔薄膜，最后通过在空气中对N掺杂TiO2多孔薄膜进行加热晶化处理，使不锈钢表面生成高膜基结合强度、大比表面积的锐钛矿型N掺杂TiO2多孔薄膜的技术方案，包括下述步骤：（1）将不锈钢基体工件放入双层辉光离子渗金属炉中，用纯Ti板作溅射靶，以氩气为载气，氮气为反应气体，进行渗镀Ti‑N，其渗镀Ti‑N的工艺条件为：不锈钢工件与溅射靶间的距离15～20 mm；气压30～45 Pa，其中氩气与氮气的流量比为8:1～1:1；溅射靶电压900～1100 V；不锈钢工件电压450～600 V；不锈钢工件温度800～1000 ℃；渗镀时间2～4 h；（2）用绝缘胶将经步骤（1）处理的不锈钢工件未渗镀Ti‑N的表面密封，仅使镀有Ti‑N膜的部分暴露出来作为工作表面，将工件置入0.5～1.5 wt% HF电解液中作为阳极, Pt片为阴极,开启磁力搅拌, 在直流电压为20～30 V，室温下阳极氧化 10～30 min，在不锈钢表面生成N掺杂TiO2多孔薄膜，然后将工件取出,用去离子水冲洗后烘干；（3）将经步骤（2）处理的上述不锈钢工件放在加热炉中，在空气中对工件进行热处理，加热温度范围控制在350～500 ℃，保温时间为1～2 h，然后冷却至室温，生成锐钛矿型N掺杂TiO2多孔薄膜。 |
