MEMS模块及基于该模块的控制系统

摘要

本发明一种MEMS模块，包括电路基板、设于该电路基板上的用于接收信号的信号接收单元、信号处理模块及通信单元，所述电路基板为柔性电路基板，所述信号处理单元的输入端连接信号接收单元，其输出端连接所述通信单元的输入端。本发明的MEMS模块及基于该模块的控制系统，与现有MEMS技术相比较具有结构简单且功耗低、电磁干扰小、成本低廉的优势。

主权项

一种MEMS模块，包括电路基板、设于该电路基板上的用于接收信号的信号接收单元、信号处理模块及通信单元，其特征在于：所述电路基板为柔性电路基板，所述信号处理单元的输入端连接信号接收单元，其输出端连接所述通信单元的输入端。