包括参考传感器元件的传感器

摘要

本发明提供了一种电磁辐射传感器，具有形成在第一衬底中的第一和第二传感器元件和形成在第二衬底中的第一和第二盖，第一和第二衬底彼此相对布置以使得第一和第二传感器元件的每个具有提供于其上方的相应的盖，从而提供独立的第一和第二单元，各单元分开形成，各单元的加盖用于限定各传感器上方的受控体积，其中第一单元提供基于第一响应特征的输出，和第二单元提供基于第二响应特征的输出。

主权项

一种电磁辐射传感器，具有形成在第一衬底中的第一和第二传感器元件和形成在第二衬底中的第一和第二盖，第一和第二盖具有各自的腔，第一和第二衬底在接合过程中彼此相对布置以使得第一传感器元件位于第一盖的腔的下面，和第二传感器元件位于第二盖的腔的下面，从而提供第一和第二单元，第一盖配置成便于辐射的传导穿过该第一盖，第二盖配置成部分不透明，从而使所述辐射的已知部分传导穿过该第二盖并且到达第二传感器元件上，第一单元提供基于第一响应特征的输出，和第二单元提供基于第二响应特征的输出；第二单元的输出用来校准第一单元的输出。