基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统及加工方法

摘要

本发明公开了基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统，其特征是探头采用不锈钢针管为保护套，所述保护套内沿其轴向平行设置两根FBG光纤测杆，所述两根光纤测杆一端与保护套固定，另一端悬空以进行测量；其中一根光纤为测量光纤，其测杆端部具有伸出保护套外的测球，另一根光纤测杆为补偿光纤，包覆在保护套，其端部经熔烧加工形成封闭端。本发明微位移传感器系统具有灵敏度高、稳定性好、长径比大、抗干扰性强等优点，可广泛用于微器件、微结构、微尺寸的微纳米量级的位移参数测量。

主权项

基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统，其特征是探头采用不锈钢针管为保护套，所述保护套内沿其轴向平行设置两根FBG光纤测杆，所述两根光纤测杆一端与保护套固定，另一端悬空以进行测量；其中一根光纤为测量光纤，测量光纤的测杆端部具有伸出保护套外的测球，另一根光纤测杆为补偿光纤，包覆在保护套，其端部经熔烧加工形成封闭端。