瑕疵检测结果整合系统及方法

摘要

本发明揭露一种瑕疵检测结果整合系统及方法，瑕疵检测结果整合系统包含瑕疵检测装置、定位记号读取单元及电子装置。瑕疵检测装置用以撷取多层膜于第一、二制程阶段中的第一、二影像以产生第一、二影像讯框，并据以得到第一、二瑕疵检测结果；其中，第一、二影像涵盖载有参考点位置信息的定位记号。定位记号读取单元用以传送其读取到的定位记号所载的参考点位置信息。电子装置的处理单元用以：根据第一、二瑕疵检测结果及来自制造设备的脉冲信号以得到第一、二瑕疵相对位置信息，并根据参考点位置信息及第一、二瑕疵相对位置信息得到瑕疵位置整合信息。本发明的系统及方法可供自动地整合各制程阶段的瑕疵检测结果，而得到瑕疵位置整合信息。

主权项

一种瑕疵检测结果整合方法，其特征在于该方法利用包括处理单元、瑕疵检测装置、定位记号读取单元，及记忆单元的系统来执行，适用于整合多层膜于制造设备所进行的各制程阶段对应的瑕疵检测结果，于各制程阶段中，该制造设备持续地产生与该多层膜的位置相关的脉冲信号，该方法包含下列步骤：(A)于第一制程阶段中，利用该瑕疵检测装置撷取该多层膜于该第一制程阶段中的第一影像以产生第一影像讯框，其中，该第一影像涵盖已标示于该多层膜的定位记号，该定位记号载有一笔参考点位置信息，该参考点位置信息与该定位记号被标示于该多层膜的位置相关；(B)利用该瑕疵检测装置根据该第一影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于该第一影像的第一瑕疵检测结果，其中，当该第一影像中有至少一个瑕疵存在时，该第一瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于该第一影像中的发生处；(C)当该第一影像中有瑕疵存在时，利用该处理单元根据该第一瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第一影像中的发生处相对于该第一影像中的该定位记号的第一瑕疵相对位置信息，其中，该第一瑕疵相对位置信息对应于该第一影像中的该定位记号所载的该参考点位置信息；(D)利用该处理单元将该第一瑕疵相对位置信息记录于该记忆单元；(E)于第二制程阶段中，当该定位记号读取单元读取到已标示于该多层膜的定位记号时，传送此步骤中所读取到的该定位记号所载的该参考点位置信息；(F)利用该瑕疵检测装置撷取该多层膜于该第二制程阶段中的第二影像以 产生第二影像讯框，该第二影像涵盖步骤(E)中读取到的该定位记号；(G)利用该瑕疵检测装置根据该第二影像讯框进行瑕疵检测，以得到对应于该第二影像的第二瑕疵检测结果，其中，当该第二影像中有至少一个瑕疵存在时，该第二瑕疵检测结果用以指示该瑕疵于第二影像中的发生处；(H)当该第二影像中有瑕疵存在时，利用该处理单元根据该第二瑕疵检测结果，及来自该制造设备的脉冲信号，以得到该瑕疵于该第二影像中的发生处相对于该第二影像中的该定位记号的第二瑕疵相对位置信息，其中，该第二瑕疵相对位置信息对应于该第二影像中的该定位记号所载的该参考点位置信息；及(I)利用该处理单元根据该参考点位置信息、该第一瑕疵相对位置信息，及该第二瑕疵相对位置信息，得到一笔瑕疵位置整合信息。