具加碘器的结晶锆生长系统

摘要

本发明揭示了一种具加碘器的结晶锆生长系统，其包括：可拆卸地且内有收容腔的加碘器、可在收容腔内垂直往复运动的拉杆、收容在收容腔内的碘、位于加碘器下方的真空生产容器、以及位于加碘器和真空生产容器之间并控制加碘器内的碘流入的球阀，其中拉杆的往复运动控制碘的流动。采用本发明，由此提高效率，降低成本，可靠性高，并可临时调整加碘量。

主权项

一种具加碘器的结晶锆生长系统，其特征在于其包括：可拆卸地且内有收容腔(10)的加碘器(1)、可在收容腔(10)内垂直往复运动的拉杆(4)、用于密封加碘器(1)两端的密封圈(3)、和用于拉杆(4)密封的动密封(5)、收容在收容腔(10)内的碘(6)、位于加碘器(1)下方的真空生产容器(8)、以及位于加碘器(1)和真空生产容器(8)之间并控制加碘器(1)内的碘流入的球阀(7)，其中拉杆(4)的往复运动控制碘(6)的流动；所述加碘器(1)的两端设置有第一法兰(12)和第二法兰(14)，其在第一、二法兰(12、14)之间设有一抽气管道(16)，且每个法兰(12、14)均包括有上、下两法兰单元；所述加碘器(1)底部设置有与拉杆(4)末端紧配合的加碘孔(2)；所述密封圈(3)位于上、下两法兰单元之间；所述拉杆(4)包括位于上端的作用部(42)和位于下端的搅拌部(44)。