| 发明名称 | 一种基于低频噪声的ESD监测设备 | ||
| 摘要 | 一种基于低频噪声的ESD监测设备，其特征在于，所述设备包括ESD传感器，以及用于接收所述传感器数据的ESD分析系统。本发明有益效果在于：ESD传感器可多次经受0～10000V HBM ESD放电，并记录ESD幅度信息；可记录ESD发生时间；经受一次ESD后可发出报警信号。 | ||
| 申请公布号 | CN103278708A | 申请公布日期 | 2013.09.04 |
| 申请号 | CN201310148231.2 | 申请日期 | 2013.04.25 |
| 申请人 | 西安电子科技大学 | 发明人 | 马中发;吴勇;张鹏;庄奕琪;赵钰迪;郭超;肖郑操;冯元博 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01)I;G01R31/12(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人 | 汤东凤 |
| 主权项 | 一种基于低频噪声的ESD监测设备，其特征在于，所述设备包括ESD传感器，以及用于接收所述传感器数据的ESD分析系统。 | ||
| 地址 | 710071 陕西省西安市太白南路2号西安电子科技大学 | ||