氮化硅发热体及其制作方法

摘要

本发明提供一种氮化硅发热体及其制作方法，该氮化硅发热体包括发热源及发热本体，该发热源为钨丝，所述发热本体的组份及含量如下，按重量份计：氮化硅88～92份，三氧化二铝6.5～8.5份，三氧化二钇1.5～3.5份。本发明提供的氮化硅发热体及其制作方法，其制作流程简单、操作过程易控；利用该方法制作的氮化硅发热体，其成品的合格率较高，具有较高的导热性能，热效率较高，该氮化硅同时还具有较高的热震性能。

主权项

一种氮化硅发热体的制作方法，其特征在于，包括：步骤1、原料配制：提供制作发热本体的原料并配制成浆料；所述发热本体的原料组份及含量如下，按重量份计：氮化硅88～92份，三氧化二铝6.5～8.5份，三氧化二钇1.5~3.5份，石蜡1.1～1.7份，微晶蜡1.1～1.7份，硬脂蜡0.1～0.3份，塑胶6.5～7.5份；步骤2、素胚成型：用注射成型机将已配制好的浆料注射成型，制得素胚；步骤3、布置发热源：在一素胚的相应位置处布置发热源，然后将另一素胚对齐扣在该素胚上面，形成素胚组合；步骤4、真空封装：采用塑料膜对上述素胚组合进行真空封装；步骤5、热等静压：将塑料膜封装后的素胚组合放到等静压机内75～85℃的热压油里，并加上95～105个大气压，塑胶微熔粘结；步骤6、预烧结：先加热到560~600℃，真空度小于或等于20Pa，进行真空排胶；然后充氮气，加热到1400℃～1440℃；步骤7、气压炉烧结：充氮气，在4~5个大气压力下，加热到1790~1830℃；步骤8，冷却制得氮化硅发热体。