Micromechanical element with reduced stress gradient

摘要

Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat und einer gegenüber dem Substrat beweglichen Struktur vorgeschlagen, wobei die bewegliche Struktur eine Startschicht und eine auf der Startschicht aufgewachsene Schicht aufweist und wobei ferner die bewegliche Struktur wenigstens eine weitere Startschicht und eine auf der weiteren Startschicht aufgewachsene weitere Schicht aufweist.