一种化学气相沉积升降装置

摘要

本实用新型提供一种化学气相沉积升降装置，所述化学气相沉积升降装置至少包括：静电吸盘、升降顶杆和夹持件；所述升降顶杆呈L型，升降顶杆的顶端穿过所述静电吸盘；所述升降顶杆的尾端插设于所述夹持件中；所述夹持件的上表面作为卡板从竖直方向上卡住升降顶杆尾端。本实用新型提供的化学气相升降装置，通过将升降顶杆设计成L型，当升降顶杆插入夹持件后，其L型的顶杆尾端与夹持件的上表面相互卡合，从而达到紧固升降顶杆的目的。升降顶杆与夹持件的这种紧固方式，不仅有效增加了升降顶杆与夹持件的使用寿命，减少了由于升降顶杆从静电吸盘掉出来造成的产品报废，同时也减少了更换夹持件带来的许多人力物力，降低了生产成本。

主权项

一种化学气相沉积升降装置，其特征在于，所述化学气相沉积升降装置至少包括：静电吸盘、升降顶杆和夹持件；所述升降顶杆呈L型，升降顶杆的顶端穿过所述静电吸盘；所述升降顶杆的尾端插设于所述夹持件中；所述夹持件的上表面作为卡板从竖直方向上卡住升降顶杆尾端。