一种由四氯化硅制备三氯氢硅的装置

摘要

本实用新型公开了一种由四氯化硅氢化生产三氯氢硅的装置，包括：带有加热装置的四氯化硅储罐；氢气储罐；氩气储罐；具有保温功能的混合气体储罐，分别连接四氯化硅储罐、氢气储罐和氩气储罐；氢化反应器，通过装有计量阀门的管道与混合气体储罐相连；射频发生器，射频发生器线圈缠绕在氢化反应器上；除尘器，与氢化反应器相连，氢化反应器中的气体通过压力差进入除尘器；冷凝器，与除尘器相连，除尘器过滤后气体靠压力差进入冷凝器；气液分离装置，与冷凝器相连，冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离装置；气体分离塔，与冷凝器相连，冷凝器中未冷凝的气体进入气体分离塔。本实用新型一次转化率高、能耗低、原料可重复利用、系统及设备结构简单。

主权项

一种由四氯化硅制备三氯氢硅的装置，其特征在于，包括： 一个带有加热装置的四氯化硅储罐； 一个氢气储罐； 一个氩气储罐； 一个具有保温功能的混合气体储罐，分别连接四氯化硅储罐、氢气储罐和氩气储罐； 一个氢化反应器，通过一个装有计量阀门的管道与混合气体储罐相连； 一台射频发生器，射频发生器线圈缠绕在氢化反应器上； 一个除尘器，与氢化反应器相连，氢化反应器中的气体通过压力差进入除尘器； 一个冷凝器，与除尘器相连，除尘器过滤后气体靠压力差进入冷凝器； 一个气液分离装置，与冷凝器相连，冷凝器冷凝得到的液体进入气液分离装置； 一个气体分离塔，与冷凝器相连，冷凝器中未冷凝的气体进入气体分离塔。