一种自动调平式空气弹簧隔振台

摘要

本实用新型公开了一种自动调平式空气弹簧隔振台。它主要包括空气弹簧、电气比例阀、矩形气室、节流管路、限位机构、双轴倾角传感器、控制单元等，气体分别通过三个控制阀进入三个矩形气室，其中较大的矩形气室向两个空气弹簧供气，两个较小的矩形气室分别向剩下的两个空气弹簧单独供气，矩形气室与空气弹簧间通过PU管进行节流，双轴倾角传感器实时监测隔振台水平姿态并向控制单元发送信号，经处理后控制电气比例阀的开断，实现空气弹簧的充放气，最终达到空气弹簧隔振台的绝对水平；空气弹簧设有上下限位机构，防止在无气或充气过多时损坏空气弹簧。本实用新型适用于超精密测量与加工领域，特别适用于需要隔振的精密仪器。

主权项

一种自动调平式空气弹簧隔振台，其特征在于：包括空气弹簧、限位机构、矩形气室、电气比例阀、节流管路、双轴倾角传感器和控制单元；气体分别通过三个电气比例阀进入三个矩形气室，其中较大的矩形气室向两个空气弹簧供气，两个较小的矩形气室向剩下的两个空气弹簧单独供气，矩形气室与空气弹簧间通过节流管路进行节流，同时空气弹簧在无气与充气过多时，限位机构起支撑作用；空气弹簧隔振台工作时，双轴倾角传感器监测平台的倾斜程度，由控制单元控制电气比例阀的通断，实现相应空气弹簧的充气或放气，最终达到空气弹簧隔振台的绝对水平姿态。