有机玻璃的CO₂激光选区辐照扫描加工微透镜阵列的方法

摘要

有机玻璃微透镜阵列的激光选区辐照扫描加工方法，属于激光领域。将金属模板及玻璃基片清洗并干燥后，金属模板置于升降台上，玻璃基片置于模板正下方，而模板与玻片的间距在1-20mm之间。利用CO2激光在模板上离焦辐照扫描加工，扫描轨迹为等间距的平行直线段阵列，扫描轨迹整体大小与待加工的面积对应；辐照扫描加工后，冷却，完成加工。本发明适用于在有机玻璃基片上加工微透镜阵列，透镜孔径及排布由金属模板的通孔尺寸及孔的分布决定，而透镜深度可通过辐照的功率密度及辐照扫描速度来控制，该加工属于非接触式加工，且加工灵活性强。

主权项

有机玻璃微透镜的CO2激光选区辐照扫描加工方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）选择带有孔阵列的金属模板，清洁后置于CO2激光下方的升降台上，而升降台置于加工平台上，金属模板与加工平台的距离可以通过升降台调整；（2）将有机玻璃基片置于加工平台上位于金属模板的正下方，通过升降台调整金属模板与有机玻璃基片之间有间距；（3）连接计算机、激光驱动器和CO2激光器，通过计算机和激光驱动器控制CO2激光器，能够使得发射的激光通过聚焦物镜聚焦后经由金属模板的孔直接作用于有机玻璃基片上；（4）打开激光器，进行扫描加工；（5）扫描加工完毕，冷却后即完成机玻璃微透镜的加工。