| 发明名称 | 蒸镀装置 | ||
| 摘要 | 一种蒸镀装置包括一加热室、一坩埚以及至少一温度测量元件。坩埚设置于加热室中，用以盛装一蒸镀材料。温度测量元件的一测量端设置于坩埚内部。 | ||
| 申请公布号 | CN103276358A | 申请公布日期 | 2013.09.04 |
| 申请号 | CN201310102167.4 | 申请日期 | 2013.03.27 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 陈益圃;吴雅婷;吴文豪;丁勇升 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 梁挥;王颖 |
| 主权项 | 一种蒸镀装置，其特征在于，包括：一加热室；一坩埚，设置于该加热室中，用以盛装一蒸镀材料；以及至少一温度测量元件，其中该温度测量元件的一测量端设置于该坩埚内部。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行二路1号 | ||