一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法

摘要

一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法，属于光学零件加工领域，本发明为解决现有光学零件加工大多采用离线测量方式，加工效率低；现有的光学零件加工设备无法满足在线测量的要求的问题。本发明的工件主轴、刀具主轴和剪切干涉仪安装在加工机床的工作台面上，工件主轴上安装工件，刀具主轴通过摆臂及刀架安装刀具，数控系统驱动刀具主轴旋转，带动刀具对工件进行加工，剪切干涉仪发出的检测光束的光轴与工件主轴的中心线在同一直线上，剪切干涉仪发出检测光束至工件，剪切干涉仪采集检测光束返回的图像信息发送给测量信息处理系统，测量信息处理系统根据获取工件表面的面形误差信息，并发送给数控系统，数控系统对工件进行补偿加工。

主权项

一种光学零件加工与检测一体化制造装置的制造方法，该方法涉及的制造装置包括工件主轴（1）、刀具主轴（2）、刀具（3）、剪切干涉仪（4）、测量信息处理系统（5）和数控系统（6），其中工件主轴（1）、刀具主轴（2）和剪切干涉仪（4）安装在加工机床（7）的工作台面上，工件主轴（1）上安装工件（8），刀具主轴（2）通过摆臂及刀架安装刀具（3），数控系统（6）驱动刀具主轴（2）旋转，同时驱动刀具主轴（2）摆动并带动刀具（3）对工件（8）进行加工，剪切干涉仪（4）发出的检测光束的光轴与工件主轴（1）的中心线在同一直线上，剪切干涉仪（4）发出检测光束至工件（8），剪切干涉仪（4）采集检测光束返回的图像信息，并发送给测量信息处理系统（5），测量信息处理系统（5）根据所述图像信息获取工件（8）表面的面形误差信息，并将所述面形误差信息发送给数控系统（6），数控系统（6）根据所述面形误差信息对工件（8）进行补偿加工；其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、进行预加工；然后，刀具主轴（2）带动摆臂及刀具（3）旋转90°，让出检测光路；步骤二、剪切干涉仪（4）发出检测光束至工件（8），剪切干涉仪（4）采集检测光束返回的图像信息，并发送给测量信息处理系统（5），测量信息处理系统（5）根据所述图像信息获取工件（8）表面的面形误差信息；步骤三、判断所述面形误差信息是否满足程序设定的精度要求，判断结果为否，执行步骤四；判断结果为是，退出程序，完成工件（8）的加工；步骤四、测量信息处理系统（5）将所述面形误差信息发送给数控系统（6），数控系统（6）根据所述面形误差信息对工件（8）进行补偿加工；然后返回执行步骤二。