发明名称 阻气性膜、装置以及阻气性膜的制造方法
摘要 本发明提供阻气性优异的阻气性膜、使用该阻气性膜的装置、该阻气性膜的制造方法。阻气性膜(1)含有所含的低聚物量为1质量%以下的塑料膜(2)、在塑料膜(2)上设置的有机层(3)、和在有机层(3)上设置的无机层(4),有机层(3)的厚度比塑料膜表面的最大高低差大。由此能够提供阻气性优异的阻气性膜(1)。
申请公布号 CN102639320B 申请公布日期 2013.09.04
申请号 CN201080053566.0 申请日期 2010.11.25
申请人 大日本印刷株式会社 发明人 中津川雄二
分类号 B32B9/00(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;B32B27/36(2006.01)I;H01L31/042(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I 主分类号 B32B9/00(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 段承恩;田欣
主权项 一种阻气性膜,其特征在于,含有所含的低聚物量为1质量%以下的塑料膜、在该塑料膜上设置的有机层、和在该有机层上设置的无机层,所述低聚物是利用使塑料膜在加热的二甲苯中浸渍24小时、由其重量变化来测定在二甲苯中被提取的低聚物成分的方法,作为低聚物成分检测出的物质,所述有机层的厚度比所述塑料膜表面的最大高低差大。
地址 日本东京都