| 摘要 |
<p>Oppfinnelsen angår en mikromekanisk enhet, særlig et justerbart optisk filter, samt en fremgangsmåte for å produsere denne. Enheten omfatter et første strukturlag og et andre substratlag i det minste delvis fastet til hverandre, der strukturlaget omfattende et antall reflekterende elementer fordelt mellom et antall ikke bevegelige, faste reflekterende elementer, der de faste elementene er forbundet med substratet, og der en kavitet er definert mellom substratet og hvert bevegelige element og hvert bevegelige element er innrettet til å gi en fjærbelastet bevegelse inn i kaviteten, og der et antall dielektriske avstandstykker er plassert i kavitetene mellom hvert bevegelige element og substratet for derved å unngå elektrisk kontakt mellom dem.</p> |
