长晶炉之底部排气构造

摘要

本创作系为一种长晶炉之底部排气构造，为一多晶矽长晶炉之冷却底板下方设有一排气管，前述排气管包含有一抽气口，藉由将长晶炉之抽气口位置设置于冷却底板下方，使得长晶炉内部之气体流场较均匀且流动性也较好，藉以让冷却底板有较佳的散热效率，进而加大多晶矽长晶炉的垂直温度过冷度及缩小横向温度之过冷度，而可令晶锭成长时晶粒可较规律的由下往上成长。