氧化矽玻璃坩埚的制造装置以及制造方法

摘要

本发明提供氧化矽玻璃坩埚的制造装置以及制造方法，可以正确地测量烟尘的产生量，从而能防止内表面特性的降低，同时也能即时地进行原料熔融状态的控制。;上述装置用于制造氧化矽玻璃坩埚，即将氧化矽粉放入模具内并形成氧化矽粉层，对该氧化矽粉层进行电弧放电将其加热熔化，以制造氧化矽玻璃坩埚，该装置包括：界定氧化矽玻璃坩埚外形的模具；具备多个碳电极以及电力供给元件的电弧放电元件；检测在模具内产生的烟尘的量的烟尘量测量部。