以带电粒子显微镜影像辨识导电柱塞短路的方法与装置

摘要

本发明揭露一种检视一试片上柱塞至柱塞短路缺陷的方法。一用于试片成像之带电粒子束于试片上，以线至线推进方向，重复进行线扫描，而线至线推进方向与线扫描方向垂直的。此方法包含，以分别沿一第一方向与一第二方向之线至线推进方式，扫描试片以获得试片之一第一影像与一第二影像。接着此方法包含辨识具有异常灰阶之影像的柱塞图案为异常柱塞图案。然后此方法包含比较异常柱塞图案的位置以决定试片上是否有柱塞至柱塞短路缺陷存在。